高性能ZnO晶莹剔透导电薄膜技术

    氧化物透明导电薄膜在成千上万世界得到了使用,特别是用作高端显示器和太阳能电池的电极。眼下的基本产品要紧是ITO资料,其它具有低的电阻率,闪光范围内高的透过率。但是In的价位很昂贵,并且有毒。氧化锌(ZnO)基透明导电薄膜不仅具有得天独厚的核电特性,并且来源丰富、价格便宜、主题性小、具有很高的热稳定性和化学稳定性,因此是Si薄膜太阳能电池前、从此透明导电电极的绝佳材料。资金项目研究了高性能ZnO晶莹剔透导电薄膜技术。用脉冲激光溅射沉积制备了ZnO晶莹剔透导电薄膜,控制了最佳制备工艺,并分别通过Al掺杂实验和绒面限光组织,加强了地膜的异质性能量和透过率,因此得到了电阻率为4*10-4Ω·cm,透光率超过90%ZnO晶莹剔透导电薄膜在档次的执行过程中,发挥SCI舆论1篇,报名发明专利1项。